№6 (65) май-1 2014 г.
Авторы:
Кондрашин Владислав Игоревич,
Ракша Сергей Владимирович,
Шикин Максим Юрьевич
Рубрика: Технические науки
Страницы: 169-173
Библиографическое описание: Кондрашин, В. И. Разработка лабораторного оборудования для получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники / В. И. Кондрашин, С. В. Ракша, М. Ю. Шикин. — Текст : непосредственный // Молодой ученый. — 2014. — № 6 (65). — С. 169-173. — URL: https://moluch.ru/archive/65/10493/ (дата обращения: 16.11.2024).
Объем: 0,27 а.л.
Статус: Опубликована
