№47 (494) ноябрь 2023 г.
Авторы:
Абрамов Александр Владимирович,
Панкратова Елена Александровна,
Нгуен Ван Тке
Рубрика: Физика
Страницы: 12-15
Библиографическое описание: Абрамов, А. В. Эффект полировки кремниевых пластин в локализованном газовом разряде / А. В. Абрамов, Е. А. Панкратова, Ван Тке Нгуен. — Текст : непосредственный // Молодой ученый. — 2023. — № 47 (494). — С. 12-15. — URL: https://moluch.ru/archive/494/107965/ (дата обращения: 19.12.2024).
Объем: 0,27 а.л.
Статус: Опубликована
