№16 (120) август-2 2016 г.
Авторы:
Брюхович Сергей Сергеевич,
Михайлова Ольга Николаевна
Рубрика: Технические науки
Страницы: 73-76
Библиографическое описание: Брюхович, С. С. Исследование механических напряжений в микромеханических мембранах на основе плёнок карбида кремния, полученных магнетронным методом / С. С. Брюхович, О. Н. Михайлова. — Текст : непосредственный // Молодой ученый. — 2016. — № 16 (120). — С. 73-76. — URL: https://moluch.ru/archive/120/33190/ (дата обращения: 19.12.2024).
Объем: 0,23 а.л.
Статус: Опубликована
